Bubur KANTILEVER SILIKON KARBIDA
Area Aplikasi: Dalam tungku difusi dan tungku difusi oksidasi suhu tinggi yang digunakan dalam industri manufaktur semikonduktor untuk melakukan pertumbuhan termal dan oksidasi wafer silikon, dayung kantilever adalah komponen kunci dari sistem pemuatan wafer untuk memastikan keseragaman wafer dan tabung tungku lebih banyak difusi dan oksidasi seragam. Dayung kantilever silikon karbida dicirikan oleh kekuatan tinggi, kemurnian tinggi, konduktivitas termal yang tinggi, tidak ada porositas, ketahanan terhadap korosi asam dan alkali, tidak ada kontaminasi pada suhu tinggi, stabilitas guncangan termal yang baik, dan kapasitas pemuatan yang tinggi. Dikombinasikan dengan koefisien ekspansi termal yang mirip dengan pelapis LPCVD, penggunaan bantalan kantilever silikon karbida pada LPCVD dapat memperpanjang siklus pembersihan pemeliharaan secara signifikan dan sangat mengurangi kontaminasi.
Deskripsi
Salah satu keunggulan utama bubur suspensi silikon karbida adalah kemampuannya memberikan hasil yang konsisten dan seragam. Bubur tersebut mampu memberikan hasil akhir yang halus dan kualitas permukaan yang sangat baik, memastikan bagian-bagian mesin bebas dari goresan, retak atau cacat lainnya.
Manfaat lain dari bubur suspensi silikon karbida adalah ramah lingkungan. Bubur ini tidak mengandung senyawa berbahaya atau bahan kimia beracun, sehingga aman untuk digunakan dan dibuang.
Selain itu, bubur suspensi silikon karbida sangat hemat biaya karena secara signifikan mengurangi pemborosan material dan waktu pemrosesan. Slurry mampu menghilangkan material dengan lebih cepat dibandingkan teknik penggilingan dan pemolesan tradisional, sehingga meningkatkan efisiensi proses pembuatan.
