Perahu penguapan unggul dalam tungku vakum

Evaporation Boat adalah tungku vakum untuk mencapai komponen inti dari lapisan penguapan material, fungsinya adalah untuk membawa penguapan bahan dan membuatnya diuapkan dengan pemanasan, diendapkan dalam lingkungan vakum untuk membentuk film tipis. Berikut ini dari adegan aplikasi, sifat material, titik teknis dan aplikasi industri dan aspek -aspek lain dari analisis terperinci dari kapal penguapan dalam aplikasi tungku vakum:

Adegan aplikasi inti

1. Thin film deposition and coating preparation vacuum furnace through the evaporation boat heating evaporated materials (metals, alloys, compounds, etc.), so that it is in a low-pressure environment, vaporization and deposition of the substrate surface, the formation of functional thin films, including: conductive \/ insulating film: Metal electrodes (Al, Cu, Au), transparent conductive film (ITO), insulating layer (Sio₂, sinₓ), digunakan dalam pembuatan chip, papan sirkuit, perangkat MEMS. Film optik: Film Peningkatan Transmitansi (MGF₂), film reflektif (AG, AL), film filter (film dielektrik multilayer), digunakan dalam lensa optik, kamera ponsel, tampilan. Pelapis fungsional: Pelapis tahan aus (TIN, CRN), film insulasi panas (paduan logam), film tahan korosi (PTFE), digunakan dalam kaca otomotif, alat pemotong, komponen dirgantara.

2. Pemurnian material dan modifikasi pemisahan material dengan kemurnian tinggi: Penggunaan zat yang berbeda dengan tekanan uap yang berbeda, melalui pemanasan perahu penguapan untuk mencapai pemurnian elemen tanah jarang (seperti ND, DY), logam mulia (Au, PT). Perawatan doping permukaan: Penguapan dopan (seperti B, N) pada permukaan wafer semikonduktor atau elektroda baterai, untuk meningkatkan sifat listrik atau optik bahan.

Kedua, poin teknis dan persyaratan desain

1. Kontrol suhu dan keseragaman kapal penguapan dengan pemanasan resistensi atau pemanasan pengeboman sinar elektron, perlu mengatur suhu sesuai dengan tekanan uap material (seperti suhu penguapan AL sekitar 1.200 derajat, AU sekitar 1400 derajat).

Desain bodi perahu (seperti kedalaman alur, sudut kemiringan) untuk memastikan bahwa penguapan bahan dipanaskan secara seragam, untuk menghindari kepanasan lokal yang disebabkan oleh percikan atau pengolahan pengotor.

2. Lingkungan vakum pencocokan vakum (biasanya 10- ³ ~ 10- ⁶ pa) dapat mengurangi titik didih material, meningkatkan laju penguapan, sambil menghindari oksidasi. Bahan perahu penguapan harus stabil di bawah vakum tinggi, seperti perahu grafit perlu menghindari oksidasi suhu tinggi (perlu diisi dengan gas lembam seperti AR).

3. Kompatibilitas Kimia untuk Menghindari Penguapan Bahan dan Reaksi Kapal: Misalnya, penguapan Zn, bahan yang mengandung S, tidak boleh menggunakan Molybdenum Boat (mudah untuk membentuk titik peleburan rendah mos ₂ menyebabkan korosi); Penguapan nitrida lebih disukai perahu boron nitrida, untuk mencegah badan perahu logam dan reaksi elemen N untuk menghasilkan kotoran.

4. Siklus Kehidupan dan Penggantian Setelah Penggunaan Jangka Panjang, Kapal mungkin disebabkan oleh erosi pencairan material, residu penguapan atau kegagalan deformasi, pemeliharaan rutin (seperti pembersihan ultrasonik) atau penggantian untuk memastikan stabilitas kualitas pelapisan. Aplikasi industri yang khas

1. Manufaktur chip semikonduktor dan mikroelektronik: penguapan Al, Cu persiapan elektroda sirkuit terintegrasi, menggunakan perahu molibdenum atau perahu tungsten; Deposisi lapisan isolasi SiO₂ dapat berupa perahu grafit opsional atau perahu boron nitride (untuk menghindari kontaminasi logam). Perangkat Daya: Penggunaan evaporasi perahu boron nitrida, ALN, persiapan lapisan epitaxial transistor elektron tinggi (Hemt), untuk menghindari pengenalan kotoran dalam badan perahu logam.

2. Optik dan Teknologi Tampilan Komponen optik presisi: Tungsten Boat Evaporation AG, AL Persiapan cermin, evaporasi perahu grafit mgf₂, sio₂ persiapan film peningkatan transmisi, untuk memastikan keseragaman film dan laju cacat rendah.

OLED dan Mini-LED: Boron nitride Boat Evaporation dari bahan pemancar cahaya organik (seperti kompleks IR) atau titik-titik kuantum, untuk menghindari bahan tubuh perahu dan molekul organik reaktif, untuk meningkatkan kehidupan perangkat.

3. Sel Surya Lapangan Energi Baru: Molybdenum Boat Evaporation Ag Electrode Slurry, Deposisi Kapal Grafit Sinₓ Reduction Film; Dalam baterai chalcogenide, boron nitride evaporation formamidine-lead iodine (fapbi₃), untuk mencegah kontaminasi dengan uap air dan kotoran.

4. Baterai Lithium-Ion: Tantalum Boat Evaporation LI Persiapan logam dari elektroda baterai solid-state, penggunaan resistensi korosi lithium; Penguapan elemen B, N yang didoping anoda berbasis silikon yang dimodifikasi, untuk meningkatkan kinerja bersepeda.

5. Peralatan High-End dan Pelapisan Alat Aerospace: Tungsten Boat Evaporation TI, CR Persiapan timah, crn coating keras, meningkatkan ketahanan keausan pahat; Penguapan perahu boron nitride dari prekursor berlian, persiapan film DLC yang digunakan dalam bantalan penerbangan.

Perawatan paduan suhu tinggi: Penguapan Al, Y dan elemen-elemen lain oleh Molybdenum Boat di vakum tungku untuk membentuk pelapis antioksidan (seperti pelapis alumina) untuk pisau mesin aero.

Shengyang New Material Co., Ltd. berkomitmen untuk produksi produk yang diproses Boron Nitride dan Boron Nitride, dan dapat menyesuaikan berbagai bagian keramik boron nitrida isolasi sesuai dengan kebutuhan pelanggan. Hubungi kami jika perlu.
Telp: +8618560961205
Email: sales@zbsyxc.com