Teknologi Boron Nitrida Ion Beam Sputtering

May 08, 2021

Dengan menggunakan teknologi deposisi sputtering berkas partikel, diperoleh produk campuran boron nitrida kubik dan boron nitrida heksagonal. Meskipun metode ini memiliki pengotor yang lebih sedikit, kondisi reaksi sulit dikendalikan, sehingga morfologi produk sulit dikendalikan, dan penelitian tentang metode ini memiliki potensi besar untuk dikembangkan.